Getter

Getter

Ein Getter ist ein chemisch reaktives Material, das dazu dient, ein Vakuum möglichst lange zu erhalten. An der Oberfläche eines Getters gehen Gasmoleküle mit den Atomen des Gettermaterials eine direkte chemische Verbindung ein, oder die Gasmoleküle werden durch Sorption festgehalten. Auf diese Weise werden Gasmoleküle „eingefangen“.

Man verwendet dieses Prinzip vor allem, um verbleibende Gase in Elektronenröhren (einschließlich Bildröhren) oder Vakuumpumpen zu binden. Zur Funktionsfähigkeit von Elektronenröhren ist es erforderlich, dass in ihrem Inneren ein möglichst gutes Vakuum (Hochvakuum) herrscht. Dazu arbeitet man Getter ein, die dem Volumen die verbleibenden Gasmoleküle entziehen. Zur Aktivierung wird das Gettermaterial erhitzt, und die entstehenden reaktiven Dämpfe binden die Restgase durch Adsorption oder chemische Bindung. Darüber hinaus können die an den freien Oberflächen niedergeschlagenen Dämpfe auch später eintreffendes Restgas binden, bis ihre Adsorptionskapazität erschöpft ist.

Bei Elektronenröhren werden hierzu häufig Barium-, Aluminium- oder Magnesiumlegierungen verwendet. Man bringt das Gettermetall in Form einer auf ein Blech montierten Pille oder eines Ringes zusammen mit dem Elektrodensystem in die Röhre und erhitzt diese nach dem Abpumpen und Abschmelzen des Glaskolbens induktiv, um das Gettermetall zu verdampfen.

In den Getterpumpen (Ionengetterpumpe) der Vakuumtechnik wird meist Titan (Titan-Sublimationspumpe) verwendet. Platin eignet sich ebenfalls.

In der Halbleiterfertigung ist weiterhin die sogenannte Defektgetterung bekannt. Dabei wird ausgenutzt, dass sich Verunreinigungen in Kristallen vorzugsweise an Störzonen des Kristallaufbaues anlagern. Hierzu wird die Rückseite eines Wafers gezielt mit Kristallfehlern versehen (aufgeraut), sodass bei einer nachfolgenden Temperung Verunreinigungen zu diesen Störstellen diffundieren. Eine andere Möglichkeit, Getterzentren zu erzeugen, ist eine gezielte Einbringung von Fremdstoffen (z. B. Bor, Phosphor, Argon) von der Rückseite. Die für die Herstellung der Schaltkreisstrukturen verwendete Vorderseite des Wafers wird dadurch reiner.

Literatur

  • Werner Espe, Max Knoll, Marshall P. Wilder: Getter Materials for Electron Tubes. In: Electronics. Oktober 1950, S. 80ff.

Wikimedia Foundation.

Игры ⚽ Поможем решить контрольную работу

Schlagen Sie auch in anderen Wörterbüchern nach:

  • GETTER — Pastilles de métaux oxydables (on utilise fréquemment les métaux alcalins ou alcalino terreux) que l’on introduit dans les tubes électroniques au moment de la mise en place des électrodes et qui permettent de parfaire le vide dans les tubes. Le… …   Encyclopédie Universelle

  • getter — s.n. (tehn.) Substanţă folosită pentru menţinerea vidului în tuburile electronice. [pr.: ghétăr] – Din engl., fr. getter. Trimis de gall, 13.09.2007. Sursa: DEX 98  GETTER s.n. Substanţă folosită pentru realizarea vidului în tuburile electronice …   Dicționar Român

  • getter — Getter, Gettons, Semble plus raisonnable d escrire Jecter, Jectons, car il vient de Iactare, voyez Jecter. Getter quelque somme, Calculum ponere …   Thresor de la langue françoyse

  • Getter — Get ter, n. One who gets, gains, obtains, acquires, begets, or procreates. [1913 Webster] …   The Collaborative International Dictionary of English

  • getter — [get′ər] n. 1. one that gets 2. a substance, esp. a metal, added in small amounts to a semiconductor, vacuum tube, etc. to attract and remove unwanted or residual impurities 3. Cdn. poisoned bait for farm pests …   English World dictionary

  • Getter — Getters are reactive materials used for removing traces of gas from vacuum systems. Flashed getters are prepared by arranging a reservoir of a volatile and reactive material inside the vacuum system; once the system is sealed, the material is… …   Wikipedia

  • Getter — Piège à gaz Un piège à gaz, ou getter (littéralement «attracteur» en anglais, du verbe to get, obtenir), est un élément composant la plupart des tubes électroniques. Sommaire 1 Fonctionnement 2 Schéma 3 Voir aussi …   Wikipédia en Français

  • Getter — Gẹt|ter 〈m. 3〉 1. Metallschicht aus gasbindendem Metall zur Bindung von Gasresten im Vakuum an Metall od. Metalloxid Oberflächen durch Adsorption od. chem. Bindung 2. Stoff, der vorzugsweise Gase chem. bindet; Sy Getterstoff [zu engl. get… …   Universal-Lexikon

  • Getter — dujų sugėriklis statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. getter; gettering agent vok. Fangstoff, m; Getter, n rus. газопоглотитель, m; геттер, m pranc. fixateur de gaz, m; getter, m …   Fizikos terminų žodynas

  • getter — dujų sugėriklis statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. getter; gettering agent vok. Fangstoff, m; Getter, n rus. газопоглотитель, m; геттер, m pranc. fixateur de gaz, m; getter, m …   Fizikos terminų žodynas

Share the article and excerpts

Direct link
Do a right-click on the link above
and select “Copy Link”