Anton Heuberger

Anton Heuberger (* 20. Februar 1942 in München; † 3. Februar 2011) war ein deutscher Ingenieur und Physiker.

Heuberger war von 1993 bis 2007 Leiter des Fraunhofer-Instituts für Siliziumtechnologie in Itzehoe. Daneben bekleidete er den Lehrstuhl für Halbleitertechnologie der Christian-Albrechts-Universität zu Kiel.

Ehrungen

• 1998: Forschungspreis der Philip Morris Stiftung

  für die Entwicklung der Röntgenstrahllithographie und der Mikrostrukturtechnik

• 2007: Verdienstkreuz am Bande der Bundesrepublik Deutschland

Weblinks

• Verdienstkreuz am Bande an Professor Dr. Anton Heuberger, Garrit Leemreijze und Horst Schurad überreicht, Pressemitteilung der Landesregierung Schleswig-Holstein
• Traueranzeige in der Süddeutschen Zeitung

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