Stepping (Halbleiterfertigung)

Stepping (Halbleiterfertigung)

Stepping bedeutet in der Elektronik-Fertigung für Halbleiter ein schrittweises Positionieren von einem Element, beispielsweise bei fotolithografischen Arbeitsschritten in der Halbleiterfertigung.

Häufig beschreibt der Begriff „Stepping“ auch einfach nur die „Schrittweite“ bzw. die angestrebte Genauigkeit und Strukturenbreite beim fototechnischen Belichten der Strukturen eines Halbleiters. Man spricht dann z. B. von einem 0,13-Mikron-Stepping.

Fotolithografie

Beim Belichten von Halbleiterstrukturen werden vielfach vergrößerte Folien eingesetzt, die auf Plottern erstellt wurden, die früher schrittweise („step by step“) die Eckpunkte ihrer Bahnen anfuhren.

Siehe auch

Stepping (Mikroprozessoren)


Wikimedia Foundation.

Игры ⚽ Нужно сделать НИР?

Schlagen Sie auch in anderen Wörterbüchern nach:

  • Stepping — bedeutet: Siehe Stepping (Halbleiterfertigung) Siehe Stepping (Mikroprozessoren) Stepping ist eine Gemeinde in der Kolding Kommune in der Region Syddanmark in Dänemark …   Deutsch Wikipedia

  • Strukturbreite — Technologiequerschnitt eines Feldeffekttransistors mit isoliertem Gate (IGFET) (hier: n Kanal MOSFET) Die Strukturgröße oder auch Strukturbreite (man spricht auch von Prozess oder Technologie, wenn man das gesamte auf diese Sturkturgröße… …   Deutsch Wikipedia

Share the article and excerpts

Direct link
Do a right-click on the link above
and select “Copy Link”